供气自动化

特气柜,高纯气体管道,供气自动控制

特气管道系统及自动控制

        机驰自动化设计制造特气柜,定制高纯和超高纯(UHP)特气输送分配系统。基于安全和全自动的特气柜(GC),精确的焊接技术,VCR接头,高纯管道和高纯器件,机驰自动化提供安全智能的气体管理解决方案。

       基于机驰自动化领域的卓越经验,设计自动化的气体分配控制,集成精确的质量流量控制器,完成实验和工程实践中对气体的逻辑控制。气体压力,温度,流量等参数的自动化设置和存储。

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供气管路设计安装

        根据客户需求设计特气供气管路,设计自动控制柜,完成工艺需求的自动化集成供气。完成调压器,流量计,压力传感器,压力表,阀门,背压阀,管件接头,控制系统的设计选型,集成调试。

气瓶柜 GC Gas Cabinet

        全自动气瓶柜和气瓶架柜为半导体,太阳能,生物技术,航天,先进材料和工业提供安全可靠的高纯特气供应。基于气盘,控制结,防护的模块化设计和多方位的客户定制,为使用提供较大柔性。

对危险应用的全自动设计,包括核心功能的PLC控制,触摸屏接口,操作和维修的自动流程,报警,急停等是气体安全分配的保证。

阀门盘和阀门箱 Valve Manifold Box and Panel

     

        阀门盘或箱用来分配单一气体到多使用器件,可以用来吹扫和清洁。阀门盘或箱设计作为简单的气体独立分配箱或者清扫组件。VMBs阀门可以自动或手动,可以包括安全监测元件如高压和高流量报警已触发急停。

集中供气系统 Centralized Gas Distribution System

   

       集中供气系统将中央储气系统或多个气瓶气体经转换装置并调压后通过系统分配给各个分散的终端用气点。

       机驰设计的供气系统为高纯气体提供高压吹扫,确保终端纯度。二级调压设计,确保压力稳定。